A compact and low-weight sputtering unit for in situ investigations of thin film growth at synchrotron radiation beamlines

Walter, Peter (Corresponding author); Dippel, A.-C.; Pflaum, K.; Wernecke, J.; van den Hurk, Jan; Blume, J.; Klemradt, Uwe

S.l.] : American Institute of Physics (2015)
Fachzeitschriftenartikel

In: Review of scientific instruments
Band: 86
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 053906

Einrichtungen

  • JARA-FIT [080009]
  • Fachgruppe Physik [130000]
  • Lehrstuhl für Experimentalphysik (Festkörperphysik) und II. Physikalisches Institut [132310]
  • Lehr- und Forschungsgebiet Experimentelle Physik der kondensierten Materie [132520]
  • Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik II und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611610]

Identifikationsnummern