In Situ X-ray Measurements to Follow the Crystallization of BaTiO3 Thin Films during RF-Magnetron Sputter Deposition

Walter, Peter (Corresponding author); Ilchen, Markus; Roeh, JanTorben; Ohm, Wiebke; Zeuthen, Christian Bonar; Klemradt, Uwe

Basel : MDPI (2021)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Applied Sciences
Band: 11
Heft: 19
Seite(n)/Artikel-Nr.: 8970

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